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佳宸 金属剥离机

用于清除晶圆上的金属及光阻。奈米级高压雾化喷头将分子微小化,可使药液快速与光阻反应,只要旋转冲洗就可清除金属及光阻,当光阻被溶解会变成浮粒,藉由离心力将浮离后的金属及光阻带离晶圆。

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产品特色
  • 奈米雾化喷头
  • 省时免浸泡
  • 独家专利滤网
  • 药水节省75%
  • 适用尺寸8
产品信息
  • 原厂名称
    佳宸
  • 制程名称
    WLCSP/Ceramic e-WLB(Fan out)/Flip Chip/Wafer Bumping
  • 英文名称
    Metal lift off
  • 产品细目
    金属剥离机/光阻去除机
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