佳宸 金属剥离机
用于清除晶圆上的金属及光阻。奈米级高压雾化喷头将分子微小化,可使药液快速与光阻反应,只要旋转冲洗就可清除金属及光阻,当光阻被溶解会变成浮粒,藉由离心力将浮离后的金属及光阻带离晶圆。
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产品特色
- 奈米雾化喷头
- 省时免浸泡
- 独家专利滤网
- 药水节省75%
- 适用尺寸8
产品信息
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原厂名称
佳宸 -
制程名称
WLCSP/Ceramic e-WLB(Fan out)/Flip Chip/Wafer Bumping -
英文名称
Metal lift off -
产品细目
金属剥离机/光阻去除机
