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伟胜 自动化烤箱

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产品特色
  • Wafer Size: 8” /12”(200 /300 mm)
  • 无尘度: Class 10 / 100
  • 含氧量:O2< 10 ppm
  • 温度范围:室温~450℃,常温~450℃ < 80min(空炉测试)
  • 降温速率:450℃降至80℃约60 min(空炉测试)
  • 温度均匀度:450℃±3℃(Tool: TC Wafer with 5 points)
产品信息
  • 原厂名称
    伟胜仪器有限公司
  • 制程名称
    OVEN烤箱
  • 英文名称
    Auto-Oven
  • 产品细目
    自动化烤箱
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